Мисија и визија Центра

Мисија Центра за микроелектронске технологије (ЦМТ) је да спроводи фундаментална и примењена научна истраживања у области микроелектронских, оптоелектронских и генерално микросистемских технологија (МСТ) и материјала, односно микроелектромеханичких система (МЕМС) и наносистема (НЕМС), при чему се нагласак ставља на сензоре физичких величина применљиве у пракси.

 Мисија ЦМТ је засновано на ставу да ће МЕМС и генерално генерално микросистемске и наносистемске технологије бити међу најзначајнијим факторима развоја светске науке и привреде у идућим годинама и деценијама и да ће се прожимање микро/наносистемских техника са свакодневним животом наставити у још већој мери него до сада.

Чврст став ЦМТ је да истраживања у Центру морају обухватити сваки корак од фундаменталних наука до готове направе применљиве у пракси. Због тога се типично почиње основним концептима и теоријским истраживањима, наставља формирањем аналитичких модела и нумеричким симулацијама, потом пројектовањем, истраживањем и развојем свих неопходних технолошких процедура, израдом конкретних направа и њиховом комплетном карактеризацијом. Понекад се потом иде на малосеријску производњу. Истраживања у ЦМТ су у великом степену међуповезана и зависна једна од других због карактера употребЉаваних технологија које нужно чине једну јединствену целину.

 

Лична карта Центра

Центар за микроелектронске технологије, ранији назив Центар за микроелектронске технологије и монокристале представља организациону целину у оквиру научне установе Институт за хемију, технологију и металургију која је члан Универзитета у Београду. Центар се бави истраживањима и технолошким развојем у оквиру микроелектронских технологија, микросистема и наносистема.

 Центар једини у Србији производи микрочипове. При том се никада не користе лиценце нити туђе знање и све компоненте израђене у Центру, као и све технологије које се користе, представљају искључиво резултате рада истраживача Центра. Целокупан циклус, почев од основних физичких, електронских, хемијско-технолошких и других концепта и фундаменталних страживања за то везаних, преко пројектовања чипова, нумеричке симулације, израде фотолитографских маски, производње самог чипа, његове монтаже, до мерења и карактеризације стопроцентно се ради у лабораторијама Центра.

 Центар је једина истраживачка целина у Србији и на западном Балкану која се бави истраживањем, израдом и производњом МЕМС компоненти (микроелектромеханички системи), односно микросистемима и која користи микромашинство и друге технологије микро и нанофабрикације.

 Центар је превасходно оријентисан на истраживање и развој различитих врста сензора, детектора и мерних трансмитера. Резултат истраживања Центра су по правилу конкретне компоненте, направе и системи који се директно примењују у индустрији, енергетици, медицини и др. На основу развијених технологија и на основу сопствених фундаменталних истраживања, Центар је по сопственом оригиналном дизајну развио силицијумске пиезоотпорне сензоре притиска, трансмитере апсолутног и релативног притиска, диференције притиска и нивоа, силицијумске p-i-n фотодиоде, InSb и HgCdTe инфрацрвене детекторе, загревне SnO2 слојеве, монокристалне материјале и др. Многе од ових компонената и система малосеријски се производе и испоручују тржишту.

 Центар је носилац сертификата ISO 9001:2001. Део истраживања у оквиру Центра рађен је за Електропривреду Србије, односно конкретно за ТЕНТ, термоелектрану Морава и хидроцентрала Власина, али такође за Југопетрол, Нис, водоснабдевање, шећеране итд. Током деведесетих година, у време економских санкција, Центар је производио и испоручивао привреди Србије софистициране мерне трансмитере који су били под трговачким ембаргом и нису се могли другачије набавити. Данас се мерни производи Центра и даље продају и поред слободне конкуренције од највећих светских произвођача.

 Технолошки систем лабораторијске опреме који се користи у Центру је комплексан и представља органску целину где се појединачни делови надовезују и допуњују, тако да дају заокружен ланац сложених и мултидисциплинарних процедура на чијем улазу су концепт и технички захтеви, а на излазу конкретна компонента са практичном применљивошћу. Овај систем допуњава се, развија и усавршава већ деценијама и у овом тренутку састоји се од неколико стотина различитих ставки опреме које су међуповезане и стопроцентно функционалне.

 Током дугогодишњег рада Центар је освојио низ технологија, од којих су најзначајније:

•  планарна технологија,
•  технологије запреминског и површинског микромашинства,
•  технологија епитаксијалног раста монокристала,
•  технологије извлачења монокристала,
•  танкослојна технологија,
•  технологија загревних слојева.

 Центар је преко пројекта REGMINA у оквирном програму FP7 Европске Уније финансиран као центар изврсности (centre of excellence) за западни Балкан за тематику микро и наносистема. Такође је акредитован од стране Министарства просвете, науке и технолошког развоја Републике Србије као центар изузетних вредности за микросистеме и наносистеме. Центар ради истраживачке пројекте како на међународном нивоу, тако и на националном, укључујући пројекте за ресорно министарство. Сви пројекти до сада без изузетка били су одлично оцењени.

 Велики број научних тематика, као и израду конкретних микроелектронских или микросистемских компоненти Центар је први започео на националном нивоу или се чак и данас једини њима бави. Центар је први у некадашњој Југославији почео да се бави истраживањима и развојем на пољу полупроводничких технологија.

 Готово сви истраживачи Центра оцењени су највишом првом категоријом. Центар већ деценијама има врло низак одлив мозгова, што је неуобичајено за његову област наука и технологија. Ово је важило чак и током кризе деведесетих година прошлог века.

 Данас Центар окупља преко 30 сталних сарадника, од тога 22 истраживача. Центар има 13 доктора, 3 магистра, 3 мастера и 3 дипломирана инжењера. Од овог броја 14 истраживача су електроинжењери, 3 су инжењери технологије, 1 је дипломирани физичар, 2 су дипломирани машински инжењери и 2 су дипломирани физикохемичари.

 

Историјат Центра

 

Институт за хемију, технологију и металургију (ИХТМ) основан је 1961. године уредбом извршног већа Народне скупштине Србије (сл. глас. НР Србије, 19/61, 25. март 1961) као настављач традиције Државне хемијске лабораторије, коју је 1859. године основао Кнез Милош Обреновић. Као једна организациона целина овог инстититута најпре је формирано Одељење за полупроводнике и специјалне материјале и поступке. Од њега су образована одељења за микроелектронске технологије, Одељење за монокристале и Одељење за специјалне материјале (1968-1969). 1983. ова одељења спојила су се у Институт за микроелектронске технологије и монокристале, а затим је од овог Института настао Центар за микроелектронске технологије и монокристале у оквиру ИХТМ. Ступањем на снагу новог Статута ИХТМ 2013. име Центра промењено је на Центар за микроелектронске технологије.

 

Неки од најбитнијих резултата Центра и године њиховог достизања:

 

1964 Силицијумске соларне ћелије

1967 Високофреквентни силицијумски планарни транзистори

1968 Полупроводнички микрофон

1968 Прва силицијумска интегрисана кола

1970 МОС транзистор са ефектом поља

1972 Загревни слојеви базирани на проводним провидним оксидима

1975 Силицијумска p-i-n фотодиода

1977 Полупроводнички ласер са једним  хетероспојем

1983 Први МЕМС Si сензори притиска

1986 InSb инфрацрвени детектори

1990 HgCdTe ИЦ детектори за термовизију

2000 Трансмитери притиска

2002 Микро и наномеханички системи и сензори

2007 Метаматеријали за хемијске сензоре

2007 Флуктуације и шум у плазмонским направама

2009 Паметни трансмитери притиска и температуре

2010 МЕМС инфрацрвени детектори

2011 Сензори на бази микро- и нано гредица.

2014 Хемијски сензори