Истраживачке групе Центра за микроелектронске технологије

 

Планарне и МЕМС технологије

МЕМС и НЕМС структуре, компоненте, направе и системи

Развој електронских склопова за сензоре и трансмитере

Плазмоника и нанофотоника

Хемијски сензори

Микроскопија атомских сила и спектроскопија

Моделовање и симулација

Наночестице и наноматеријали за функционализацију МЕМС и НЕМС направа

Малосеријска производња и тестирање мерних трансмитера