Преглед главних истраживачких тема

 

Базична истраживања у микросистемским технологијама

 

Адсорпционо-десорпциони процеси у МЕМС/НЕМС

Флуктуације и шум код микросистема

Нови технолошки поступци у МЕМС и НЕМС

 

 

Градивни блокови за микросистеме

 

Микро и наногредице

Метаматеријали

Плазмоника

Нанофотоникa

Наномембране 

Наночестице 

Композитни системи танки филм-супстрат

  

Микро и наносистеми

 

МЕМС чип сензора ниског притиска за повишене радне температуре до 3000С 

МЕМС чип сензора притиска са уграђеном блокадом преоптерећења 

Вишенаменски МЕМС сензори на бази Зебековог ефекта  

Наноплазмонски хемијски и биолошки сензори 

Хемијски и биолошки сензора засновани на микро/наногредицама 

Сензор елементарне живе 

Инерцијални сензори

МЕМС микрореактори 

Микроактуатори 

 

Микрооптоелектромеханички системи (МОЕМС)

 

Ултраљубичасти Si фотодетектори 

Двобојни Si PIN фотодетектори  

Побољшање ИЦ детекције плазмонским материјалима 

 

Индустријски мерни системи базирани на МЕМС/НЕМС

 

Интелигентни индустријски мерни грансмитери 

Сензорске мреже