Misija i vizija Centra

Misija Centra za mikroelektronske tehnologije (CMT) je da sprovodi fundamentalna i primenjena naučna istraživanja u oblasti mikroelektronskih, optoelektronskih i generalno mikrosistemskih tehnologija (MST) i materijala, odnosno mikroelektromehaničkih sistema (MEMS) i nanosistema (NEMS), pri čemu se naglasak stava na senzore fizičkih veličina primenive u praksi.

 Misija CMT je zasnovano na stavu da će MEMS i generalno generalno mikrosistemske i nanosistemske tehnologije biti među najznačajnijim faktorima razvoja svetske nauke i privrede u idućim godinama i decenijama i da će se prožimanje mikro/nanosistemskih tehnika sa svakodnevnim životom nastaviti u još većoj meri nego do sada.

Čvrst stav CMT je da istraživanja u Centru moraju obuhvatiti svaki korak od fundamentalnih nauka do gotove naprave primenive u praksi. Zbog toga se tipično počinje osnovnim konceptima i teorijskim istraživanjima, nastava formiranjem analitičkih modela i numeričkim simulacijama, potom projektovanjem, istraživanjem i razvojem svih neophodnih tehnoloških procedura, izradom konkretnih naprava i njihovom kompletnom karakterizacijom. Ponekad se potom ide na maloserijsku proizvodnju. Istraživanja u CMT su u velikom stepenu međupovezana i zavisna jedna od drugih zbog karaktera upotrebljavanih tehnologija koje nužno čine jednu jedinstvenu celinu.

 

Lična karta Centra

Centar za mikroelektronske tehnologije, raniji naziv Centar za mikroelektronske tehnologije i monokristale predstava organizacionu celinu u okviru naučne ustanove Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju koja je član Univerziteta u Beogradu. Centar se bavi istraživanjima i tehnološkim razvojem u okviru mikroelektronskih tehnologija, mikrosistema i nanosistema.

 Centar jedini u Srbiji proizvodi mikročipove. Pri tom se nikada ne koriste licence niti tuđe znanje i sve komponente izrađene u Centru, kao i sve tehnologije koje se koriste, predstavaju iskučivo rezultate rada istraživača Centra. Celokupan ciklus, počev od osnovnih fizičkih, elektronskih, hemijsko-tehnoloških i drugih koncepta i fundamentalnih straživanja za to vezanih, preko projektovanja čipova, numeričke simulacije, izrade fotolitografskih maski, proizvodnje samog čipa, njegove montaže, do merenja i karakterizacije stoprocentno se radi u laboratorijama Centra.

 Centar je jedina istraživačka celina u Srbiji i na zapadnom Balkanu koja se bavi istraživanjem, izradom i proizvodnjom MEMS komponenti (mikroelektromehanički sistemi), odnosno mikrosistemima i koja koristi mikromašinstvo i druge tehnologije mikro i nanofabrikacije.

 Centar je prevashodno orijentisan na istraživanje i razvoj različitih vrsta senzora, detektora i mernih transmitera. Rezultat istraživanja Centra su po pravilu konkretne komponente, naprave i sistemi koji se direktno primenjuju u industriji, energetici, medicini i dr. Na osnovu razvijenih tehnologija i na osnovu sopstvenih fundamentalnih istraživanja, Centar je po sopstvenom originalnom dizajnu razvio silicijumske piezootporne senzore pritiska, transmitere apsolutnog i relativnog pritiska, diferencije pritiska i nivoa, silicijumske p-i-n fotodiode, InSb i HgCdTe infracrvene fotodetektore, zagrevne SnO2 slojeve, monokristalne materijale i dr. Mnoge od ovih komponenata i sistema maloserijski se proizvode i isporučuju tržištu.

 Centar je nosilac sertifikata ISO 9001:2001. Deo istraživanja u okviru Centra rađen je za Elektroprivredu Srbije, odnosno konkretno za TENT, termoelektranu Morava i hidrocentrala Vlasina, ali takođe za Jugopetrol, Nis, vodosnabdevanje, šećerane itd. Tokom devedesetih godina, u vreme ekonomskih sankcija, Centar je proizvodio i isporučivao privredi Srbije sofisticirane merne transmitere koji su bili pod trgovačkim embargom i nisu se mogli drugačije nabaviti. Danas se merni proizvodi Centra i dae prodaju i pored slobodne konkurencije od najvećih svetskih proizvođača.

 Tehnološki sistem laboratorijske opreme koji se koristi u Centru je kompleksan i predstava organsku celinu gde se pojedinačni delovi nadovezuju i dopunjuju, tako da daju zaokružen lanac složenih i multidisciplinarnih procedura na čijem ulazu su koncept i tehnički zahtevi, a na izlazu konkretna komponenta sa praktičnom primenivošću. Ovaj sistem dopunjava se, razvija i usavršava već decenijama i u ovom trenutku sastoji se od nekoliko stotina različitih stavki opreme koje su međupovezane i stoprocentno funkcionalne.

 Tokom dugogodišnjeg rada Centar je osvojio niz tehnologija, od kojih su najznačajnije:

•  planarna tehnologija,
•  tehnologije zapreminskog i površinskog mikromašinstva,
•  tehnologija epitaksijalnog rasta monokristala,
•  tehnologije izvlačenja monokristala,
•  tankoslojna tehnologija,
•  tehnologija zagrevnih slojeva.

 Centar je preko projekta REGMINA u okvirnom programu FP7 Evropske Unije finansiran kao centar izvrsnosti (centre of excellence) za zapadni Balkan za tematiku mikro i nanosistema. Takođe je akreditovan od strane Ministarstva prosvete, nauke i tehnološkog razvoja Republike Srbije kao centar izuzetnih vrednosti za mikrosisteme i nanosisteme. Centar radi istraživačke projekte kako na međunarodnom nivou, tako i na nacionalnom, uklјučujući projekte za resorno ministarstvo. Svi projekti do sada bez izuzetka bili su odlično ocenjeni.

 Veliki broj naučnih tematika, kao i izradu konkretnih mikroelektronskih ili mikrosistemskih komponenti Centar je prvi započeo na nacionalnom nivou ili se čak i danas jedini njima bavi. Centar je prvi u nekadašnjoj Jugoslaviji počeo da se bavi istraživanjima i razvojem na pou poluprovodničkih tehnologija.

 Gotovo svi istraživači Centra ocenjeni su najvišom prvom kategorijom. Centar već decenijama ima vrlo nizak odliv mozgova, što je neuobičajeno za njegovu oblast nauka i tehnologija. Ovo je važilo čak i tokom krize devedesetih godina prošlog veka.

 Danas Centar okupa preko 30 stalnih saradnika, od toga 22 istraživača. Centar ima 13 doktora, 3 magistra, 3 mastera i 3 diplomirana inženjera. Od ovog broja 14 istraživača su elektroinženjeri, 3 su inženjeri tehnologije, 1 je diplomirani fizičar, 2 su diplomirani mašinski inženjeri i 2 su diplomirani fizikohemičari.

 

Istorijat Centra

 

Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju (IHTM) osnovan je 1961. godine uredbom izvršnog veća Narodne skupštine Srbije (sl. glas. NR Srbije, 19/61, 25. mart 1961) kao nastavač tradicije Državne hemijske laboratorije, koju je 1859. godine osnovao Knez Miloš Obrenović. Kao jedna organizaciona celina ovog institituta najpre je formirano Odeenje za poluprovodnike i specijalne materijale i postupke. Od njega su obrazovana odeenja za mikroelektronske tehnologije, Odeenje za monokristale i Odeenje za specijalne materijale (1968-1969). 1983. ova odeenja spojila su se u Institut za mikroelektronske tehnologije i monokristale, a zatim je od ovog Instituta nastao Centar za mikroelektronske tehnologije i monokristale u okviru IHTM. Stupanjem na snagu novog Statuta IHTM 2013. ime Centra promenjeno je na Centar za mikroelektronske tehnologije.

 

Neki od najbitnijih rezultata Centra i godine njihovog dostizanja:

 

1964 Silicijumske solarne ćelije

1967 Visokofrekventni silicijumski planarni tranzistori

1968 Poluprovodnički mikrofon

1968 Prva silicijumska integrisana kola

1970 MOS tranzistor sa efektom poa

1972 Zagrevni slojevi bazirani na provodnim providnim oksidima

1975 Silicijumska p-i-n fotodioda

1977 Poluprovodnički laser sa jednim  heterospojem

1983 Prvi MEMS Si senzori pritiska

1986 InSb infracrveni detektori

1990 HgCdTe IC detektori za termoviziju

2000 Transmiteri pritiska

2002 Mikro i nanomehanički sistemi i senzori

2007 Metamaterijali za hemijske senzore

2007 Fluktuacije i šum u plazmonskim napravama

2009 Pametni transmiteri pritiska i temperature

2010 MEMS infracrveni detektori

2011 Senzori na bazi mikro- i nano gredica.

2014 Hemijski senzori