Istraživačke grupe Centra za mikroelektronske tehnologije

 

Planarne i MEMS tehnologije

MEMS i NEMS strukture, komponente, naprave i sistemi

Razvoj elektronskih sklopova za senzore i transmitere

Plazmonika i nanofotonika

Hemijski senzori

Mikroskopija atomskih sila i spektroskopija

Modelovanje i simulacija

Nanočestice i nanomaterijali za funkcionalizaciju MEMS i NEMS naprava

Maloserijska proizvodnja i testiranje mernih transmitera