Pregled glavnih istraživačkih tema

 

Bazična istraživanja u mikrosistemskim tehnologijama

 

Adsorpciono-desorpcioni procesi u MEMS/NEMS

Fluktuacije i šum kod mikrosistema

Novi tehnološki postupci u MEMS i NEMS

 

 

Gradivni blokovi za mikrosisteme

 

Mikro i nanogredice

Metamaterijali

Plazmonika

Nanofotonika

Nanomembrane 

Nanočestice 

Kompozitni sistemi tanki film-supstrat

  

Mikro i nanosistemi

 

MEMS čip senzora niskog pritiska za povišene radne temperature do 3000

MEMS čip senzora pritiska sa ugrađenom blokadom preopterećenja 

Višenamenski MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta  

Nanoplazmonski hemijski i biološki senzori 

Hemijski i biološki senzora zasnovani na mikro/nanogredicama 

Senzor elementarne žive 

Inercijalni senzori

MEMS mikroreaktori 

Mikroaktuatori 

 

Mikrooptoelektromehanički sistemi (MOEMS)

 

Ultralјubičasti Si fotodetektori 

Dvobojni Si PIN fotodetektori  

Pobolјšanje IC detekcije plazmonskim materijalima 

 

Industrijski merni sistemi bazirani na MEMS/NEMS

 

Inteligentni industrijski merni transmiteri 

Senzorske mreže